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微小流量热式气体质量流量计产品特点
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一、微小流量热式气体质量流量计概述
微小流量热式气体质量流量计采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems)气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
微小流量热式气体质量流量计能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。
二、微小流量热式气体质量流量计技术参数
1、测量介质:空气,氮气,二氧化碳,氩气,氧气,氢气,氦气
2、流量范围: DN2:20-10000 mL/min;DN3:1000-30000 mL/min
(1)以上流量的测量介质为空气而言;
(2)以上流量的标准状态20℃,101.325kPa。
(3) 每个口径量程范围均可扩大
(4)特殊需要可联系厂家单独标定
3、最大允许误差:±1.5%FS
4、精度保证温度:15-35℃;
5、工作压力范围:
MFM:工作压力≦1MPa  耐压:3MPa
MFC:工作压差:
≦1L/min:0.05-0.3MPa
1-30L/min:0.1-0.3MPa
耐压:3MPa
6、供电电源:24VDC
7、输入信号:0-5VDC,  RS485通讯
8、输出信号:4-20mA,RS485通讯;
9、环境温度:5-45℃;
10、显示位数:瞬时流量为6位,累积流量8位。
三、微小流量热式气体质量流量计特点
1、产品集成度高,集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体,并可实现自动调节、控制阀门。
2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术,使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。
3、微小流量气体测量,ml/min级的微流量测控,实现微小流量测量的数字化。
4、单个芯片的卓越流量特性的微处理技术,使流量计的量程范围大大提高。
5、机电一体化优化设计,智能化的数据处理技术,使流量计具有更好的重复性,实现了计量的准确、可靠。
5、结构的优化,MFM流量计的压力损失达到最小化。
6、采用国际最新的MF传感技术,使流量计工作更稳定、可靠。
7、独创零点自校功能,测量更准确。
8、多种气体实际标定,全量程补偿。
9、快速响应、数据自动存储,配合上位机可实现网络集中管理。
10、规格齐全,量程范围宽,可根据用户要求单独标定。
11、精度等级高,满足用户高精度测量要求。
12、独有的流量计报警功能,使监控更可靠。
13、操作、设置界面友好、简便,可根据需要自行设定相关参数。
14、运用行业多,是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的首选。

 
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